AltiSurf 500
다양한 활용성 덕분에 이 장비는 분석할
재료 (금속, 유리, 직물, 종이, 나노기술
기판 등)의 다양성과 수행할 검사 (거칠기,
형상 편차, 치수) 측면에서 대부분의 실험실 측정 요구 사항을
충족하고 수행합니다.
모듈식 아키텍처와 센서 및 회전 축 등의
다양한 옵션을 제공합니다.
◈ 측정 원리
▷ 크로마틱 공초점
▷ 영상 및 IR 간섭계
▷ 레이저 삼각측량
▷ 접촉 프로브
◈구조적 치수
▷ 무게: 75 kg
▷ 크기 (L x W x H): 505 x 551 x 690 mm
▷ 측정 범위 (X x Y x Z):
100 x 100 x 100 mm
◈사양
▷ 축 속도: 40 mm/s 까지
▷ 축의 평탄도: <1 µ/100 mm
▷ 축 분해능: 0.062 µm
▷ Z 분해능: 3 nm부터
▷ 수평 분해능: 0.9 µm부터
◈성능
▷ 스텝 높이 정확도(1 μm): 0.005%
▷ 거칠기 측정(Ra/Sa): 20 nm / 20 nm
▷ 최소 두께 측정: 4 µm