AltiSurf 560
특정 고객 요구에 부응하여 처음 개발된 AltiSurf 560은 600 × 600 x 100mm의 측정 범위를 제공합니다.
주어진 크기로 인해 많은 수의 기준을 측정하고 동일한 공작물에 대해 여러 거칠기 측정을 수행할 수 있습니다.
◈ 측정 원리
▷ 크로마틱 공초점
▷ 영상 및 IR 간섭계
▷ 레이저 삼각측량
▷ 접촉 프로브
◈구조적 치수
▷ 무게: 200 kg
▷ 측정 범위 (X x Y x Z): 600 x 600 x 100 mm
▷ 측정물 최대 하중: 15 Kg
◈사양
▷ 축 속도: 200 mm/s 까지
▷ 축 진직도: <0.6 µ/200 mm
▷ 축 분해능: 0.5 µm (옵션 0.1 µm)
▷ Z 분해능: 3 nm부터
◈성능
▷ 스텝 높이 정확도(1 μm): 0.005%
▷ 거칠기 측정(Ra/Sa): 20 nm / 20 nm
▷ 최소 두께 측정: 4 µm